高功率产品
速联高功率同轴产品专为半导体/光伏等制造设备提供射频能量驱动的连接解决方案,包括半导体刻蚀工艺及半导体/光伏的PECVD工艺所需。产品主要应用于干法刻蚀、等离子薄膜、等离子清洗及HIT薄膜等设备中,射频电源到适配器互连。产品已在各主流厂商大规模使用,同时提供多品种小批量的快速定制交付服务。