RF技术在液晶平板制造的应用
- 射频电源系统的性能直接影响等离子体的浓度、均匀性和稳定性等。此外，生产过程等离子体腔室阻抗的变化十分复杂。为了提高集成电路品质，要保证等离子体均匀稳定，才能够完全吸收来自射频源的功率。这需要适配器提供高精度的自动阻抗匹配。
LCD液晶平板具有多层结构，其中薄膜晶体管（Thin film transistor, 简称TNT ）层。它的作用是对每个像素都有一个薄膜晶体管进行开关控制，实现显示屏的高分辨率、快速响应和高对比度。TFT的薄膜沉积工艺广泛采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、溅射与刻蚀等技术，需依赖稳定的射频能量激发等离子体。
