RF技术在光伏行业的应用
- 在高效光伏电池制造，尤其是HJT（异质结Heterojunction）技术路线中，射频能量的稳定传输是实现高质量薄膜沉积与表面处理的关键。SLK高功率同轴连接产品专为HJT产线中的PECVD（等离子体增强化学气相沉积）与等离子清洗设备提供高性能射频互连解决方案。在HJT电池结构中，需在晶体硅基底上沉积超薄本征及掺杂非晶硅层，该过程依赖稳定、均匀的射频等离子体激发。
太阳能硅片的生产和芯片等半导体类似，涉及薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗等工艺。这些工艺，都需要利用到等离子体的特殊性能。
